C00327 - SEMI C3.27 - 三フッ化ホウ素（BF3），シリンダ充填， 99.0%品質の仕様 Revision:SEMI C3.27-1102 (Reapproved 1011) - Superseded スケジューリングマネジャは「この材料あるいはリソースを次にどうするのか？」といった質問に対する答を提供してファクトリオペレーションをサポートする。その時点でのあるいは将来の制約および目標に対する評価を基にした答になる場合もある。ディスパッチャのアウトプットはターゲットリソースの次の活動に関する決定という形をとるが，インタフェースは決定を下すもとになるプライオリティ付き活動リストを提供して，マニュアルでのシナリオもサポートできる。

スケジューリングマネジャは「この材料あるいはリソースを次にどうするのか？」といった質問に対する答を提供してファクトリオペレーションをサポートする。その時点でのあるいは将来の制約および目標に対する評価を基にした答になる場合もある。ディスパッチャのアウトプットはターゲットリソースの次の活動に関する決定という形をとるが，インタフェースは決定を下すもとになるプライオリティ付き活動リストを提供して，マニュアルでのシナリオもサポートできる。

This Standard covers 300 mm equipment only

本法は，ふっ素樹脂製チューブフィッティングに損傷を生じさせるに必要な内部圧力を決定するための標準手順を規定する。

SEMI E140-0305 (first published)

The primary focus for this Test Method is semiconductor processing equipment including

C00327 - SEMI C3.27 - 三フッ化ホウ素（BF3），シリンダ充填， 99.0%品質の仕様 Revision:SEMI C3.27-1102 (Reapproved 1011) - Superseded スケジューリングマネジャは「この材料あるいはリソースを次にどうするのか？」といった質問に対する答を提供してファクトリオペレーションをサポートする。その時点でのあるいは将来の制約および目標に対する評価を基にした答になる場合もある。ディスパッチャのアウトプットはターゲットリソースの次の活動に関する決定という形をとるが，インタフェースは決定を下すもとになるプライオリティ付き活動リストを提供して，マニュアルでのシナリオもサポートできる。global Gases Technical Committee2011912global Audits and Reviews Subcommittee201110www. semiviews. org www. semi. org1984200211 : (Si2H6) Referenced SEMI Standards SEMI C1 Specifications for Reagents SEMI C3 Specifications for Gases