P02900 - SEMI P29 - 減衰型位相シフトマスク（ハーフトーン型位相シフトマスク）およびマスクブランクスに特有な特性の仕様 StdPbc-0822 SEMI G30 — Test Method

SEMI G30 — Test Method Junction-to-Case Thermal Resistance Measurements of Ceramic Packages

memory capability

本文書の目的は， テスト装置から歩留り管理システムに，特定のデータを渡すためのフォーマットの標準化である。歩留り管理システムは，データサーバの一種であり，ベアウェーハやパターン付きウェーハの欠陥データを管理するシステムである。

SEMI E125-0923 (technical revision)

SEMI M54-0304 (Reapproved 0611)

P02900 - SEMI P29 - 減衰型位相シフトマスク（ハーフトーン型位相シフトマスク）およびマスクブランクスに特有な特性の仕様 StdPbc-0822 SEMI G30 — Test Methodglobal Micropatterning Committee200598global Audits and Reviews Subcommittee200510www. semi. org200511CD ROM19979 2005 Referenced SEMI Standards SEMI P1 Specification for Hard Surface Photomask Substrates SEMI P22 Guideline for Photomask Defect Classification and Size Definition