S00500 - SEMI S5 - 氣體鋼瓶限流裝置尺寸估量及鑑定之安全基準 Revision:SEMI S5-0616 - Superseded 本スタンダードが意図しているのは，すべてのメカニカルインタフェースにておいて，モジュール性と互換性を確保しながら，技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定めることである。本仕様におけるほとんどの要求事項は，最大および最小の寸法という形をとっており，（ドアメカニズムやキネマティックカプリングを除き）表面仕様が要求されることはほとんどない。FOUPに対する物理的インタフェースだけが規定されており，材料に対する要求事項やパーティクルなどの汚染限度は示されていない。本スタンダードに規定された容器は，密閉されたミニエンバイロメント用途を意図しているが，単にうまく設計された自動化インタフェースを伴ったボックスであるとの解釈でも構わない。

本スタンダードが意図しているのは，すべてのメカニカルインタフェースにておいて，モジュール性と互換性を確保しながら，技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定めることである。本仕様におけるほとんどの要求事項は，最大および最小の寸法という形をとっており，（ドアメカニズムやキネマティックカプリングを除き）表面仕様が要求されることはほとんどない。FOUPに対する物理的インタフェースだけが規定されており，材料に対する要求事項やパーティクルなどの汚染限度は示されていない。本スタンダードに規定された容器は，密閉されたミニエンバイロメント用途を意図しているが，単にうまく設計された自動化インタフェースを伴ったボックスであるとの解釈でも構わない。

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micro electro-mechanical systems (MEMS)

1-0313 (technical revision)

S00500 - SEMI S5 - 氣體鋼瓶限流裝置尺寸估量及鑑定之安全基準 Revision:SEMI S5-0616 - Superseded 本スタンダードが意図しているのは，すべてのメカニカルインタフェースにておいて，モジュール性と互換性を確保しながら，技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定めることである。本仕様におけるほとんどの要求事項は，最大および最小の寸法という形をとっており，（ドアメカニズムやキネマティックカプリングを除き）表面仕様が要求されることはほとんどない。FOUPに対する物理的インタフェースだけが規定されており，材料に対する要求事項やパーティクルなどの汚染限度は示されていない。本スタンダードに規定された容器は，密閉されたミニエンバイロメント用途を意図しているが，単にうまく設計された自動化インタフェースを伴ったボックスであるとの解釈でも構わない。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. (FLDs) FLDs FLDs FLDs FLDs FLDs Referenced SEMI Standards SEMI S2 Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment