F01000 - SEMI F10 - フッ素樹脂製チューブフィッティングに損傷を生じさせるのに必要な内部圧力を決定するためのテスト方法 StdTpc-Photolithography Metrology SEMI S30-1023a (delayed revision)

SEMI S30-1023a (delayed revision)

データ・アイテムの順序は本文書の中で制限されない。データ・アイテムの順序は適用する文書によっては制限される場合がある。

2 Ωcm for n-type silicon (refer to SEMI MF43)

備註：本安全基準中以「註」為標題的段落並非正式內容，不得以此修改或取代正式的安全基準。

1  This Standard establishes two methods for evaluating the chemical resistance of FPD color filters

F01000 - SEMI F10 - フッ素樹脂製チューブフィッティングに損傷を生じさせるのに必要な内部圧力を決定するためのテスト方法 StdTpc-Photolithography Metrology SEMI S30-1023a (delayed revision)NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. SI