D07300 - SEMI D73 - Test Method for Positional Accuracy of Capacitive Touchscreen Panel StdVol-Gases 本スタンダードは，6インチレチクルの出荷，搬送，および保管のために使用する150 mm極紫外線リソグラフィ（EUVL）レチクル用EUVポッドの仕様を記述している。EUVポッドは，外部ポッドと保護用の内部ポッドから構成される。EUVポッドは，従来のレチクルキャリアがEUVLの要件に適合しない場合に使用する。

本スタンダードは，6インチレチクルの出荷，搬送，および保管のために使用する150 mm極紫外線リソグラフィ（EUVL）レチクル用EUVポッドの仕様を記述している。EUVポッドは，外部ポッドと保護用の内部ポッドから構成される。EUVポッドは，従来のレチクルキャリアがEUVLの要件に適合しない場合に使用する。

tetrakis(diethylamino) zirconium and tetrakis(ethylmethylamino) zirconium which are used in the semiconductor industry for the deposition of zirconium oxide based layers by atomic layer deposition

1  The control of parameters

• CarrierID verification and Carrier slot map verification

This Document defines three orthogonal reference planes as references for carrier dimensions

D07300 - SEMI D73 - Test Method for Positional Accuracy of Capacitive Touchscreen Panel StdVol-Gases 本スタンダードは，6インチレチクルの出荷，搬送，および保管のために使用する150 mm極紫外線リソグラフィ（EUVL）レチクル用EUVポッドの仕様を記述している。EUVポッドは，外部ポッドと保護用の内部ポッドから構成される。EUVポッドは，従来のレチクルキャリアがEUVLの要件に適合しない場合に使用する。This measurement standard defines test methods for the positional accuracy of touchscreen panels. To help the communication between component material IC and panel manufactures, this Standard provides a testing method that reveals the response performance of touchscreen panels. This Standard is a generic specification for positional accuracy test methods of touchscreen panel including the single point and the straight line. Based on user experiences,